Cov ntawv thov kev ua haujlwm ntawm FFU ntxuam lim cov chav nyob hauv cov kev lag luam semiconduct no yog huab thiab tsis pom zoo. Kev tsim kho cov khoom lag luam zoo tshaj plaws yog kev nyab xeeb ntawm kev lag luam huv si, nrog cov kev xav tau ib puag ncig, thiab FFUs yog cov chaw ua haujlwm. Hauv qab no yog cov ncauj lus kom ntxaws kev tsom xam ntawm in- qhov tob thiab tshwj xeeb cov ntawv thov ntawm femusonductor kev lag luam:
I. Ib puag ncig yuav tsum muaj ntawm semiconductor raug: Vim li cas ffu yog ib qho yuav tsum - puas muaj?
Kev tsim cov semiconductor chips (tshwj xeeb yog nrog cov txheej txheem nanoscale) muaj kev cuam tshuam ib puag ncig ib puag ncig, qhov twg txawm tias muaj kev sib txawv me me tuaj yeem ua rau muaj kev poob qis.
1. Ultra {{{1} Zoo} Cov me me particle (xws li 0.05μm) tsaws ntawm cov kab mob luv luv (piv txwv li cov kab ncig ua si hauv cov chips, ncaj qha rau kev poob qis hauv cov txiaj ntsig.
2. Molecular {{-} Kev Tswj Qib (AMC)
3. Electrostatic tso tawm (ESD) tswj xyuas: hluav taws xob muaj peev xwm nyiam cov khoom, thiab tso tawm tuaj yeem ua kev puas tsuaj rau cov kab nrog nanoscale kab.
4. Ultra {-}}}}}}} Txoj Kev Nyob Ruaj Khwv: Cov txheej txheem xws li kev nkag siab zoo rau kev hloov pauv qhov kub, av noo, thiab cua. Txawm tias muaj kev hloov pauv me me tuaj yeem cuam tshuam ntau dhau ntawm kev txiav txim siab (sib ncag precision) thiab CD (tseem ceeb ntev).
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Ii. Core Techn luag haujlwm ntawm FFU hauv cov chaw tsim khoom
Hauv kev teb rau cov cai saum toj saud, FFUs Ua si cov luag haujlwm tseem ceeb hauv qab no hauv semiconductor factories:
1. Tsim thiab tswj cov ultra - siab huv si unidirectional ntws
{{0- Daim ntawv thov: Hauv qhov chaw tseem ceeb ntawm tag nrho cov khoom siv qab zib (feem ntau yog ntau dua li 80} Kuv zoo li "Laminar ntws los ntawm sab saum toj mus rau hauv qab.
- Cov khoom siv tau ua ke thiab cov khoom siv nyob rau hauv huab cua thiab nrawm dua rau lawv cov kev sib txawv tom qab thiab kev tso tawm ntawm Wafer saum npoo. Qhov no yog qhov zoo tshaj plaws txhais tau tias kev tswj hwm kev sib kis.
2. Ua kom tiav ISO 1-5 kev nyiam huv
{- Cov txheej txheem tseem ceeb: Cov txheej txheem tseem ceeb xws li Lithography, etching, thiab nyias {1} {{, 5nm, 3nm).
-} technical Kev paub tseeb: Ulpa (ultra {1} Tsawg cov pa loj dua lossis sib npaug ntawm 9,.14μm hais) yog siv hloov ntawm HEPA cov ntxaij lim dej Hepa li cas. FFUs Lawv tus Xoom - Kev Txhaws Sealing Tsim (xws li kua roj plab zom mov (siab li cov pa lim dej tsis tuaj yeem hla cov ntxaij lim dej.
3. Ua li lub platform rau kev siv tshuaj
- Daim ntawv thov: Cov ntxaij lim dej tau muab tso rau ua ntej Ulpa Lim, tsim kev sib xyaw ntawm "tshuaj siv lub cev."
-} lim dej (feem ntau yog siv cov pa roj carbon monoxent (nH₃)
4. Thawj kab ntawm kev tiv thaiv tawm tsam cov electrostatic tawm (ESD)
-} Daim ntawv thov: Cov qauv sib txawv thiab cov qauv ua haujlwm ntawm FFUS yog ua los ntawm - cov ntaub ntawv zoo nkauj.
-} procession tus nqi: kev tiv thaiv cov hluav taws xob zoo li qub vim tias muaj kev sib txhuam ntawm FFU, yog li zam dhau ntawm kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv uas pom tau los yog eSD cov xwm txheej.
5. Muab cov ruaj khov thiab txhim khu kev qha ib puag ncig ib puag ncig
{{0- Daim ntawv thov: Ntau txhiab tus FFUS ua haujlwm hauv kev sib koom tes los ntawm cov pab pawg neeg ntse tswj cov txheej txheem.
-} cov nqi siv nyiaj:
{{0- high- prefe airflow: EC Motors Ua kom muaj kev ruaj khov thiab ruaj khov ua lub koom haum hla txhua qhov chaw.
- modular tsim: qhov tsis ua tiav ntawm ib lossis ob peb FFUs tsis cuam tshuam rau tag nrho cov kab ke, ua kom muaj kev ntseeg siab.
{-} Kev txij nkawm tuaj yeem soj ntsuam qhov kev ua haujlwm, kev siv lub sijhawm ua haujlwm, ua kom muaj kev sib tw ntawm kev saib xyuas thiab zam kev ua kom tsis tau zoo.
III. Cov kev saib tshwjxeeb tshwj xeeb rau kev xaiv FFU hauv kev lag luam semiconduct
Thaum xaiv ffus rau kev lag luam semiconduct, kev yuav tsum tau nruj dua yuav tsum tau thov kom muaj nyob rau sab saum toj tus qauv:
1. Lim ua haujlwm: Theem ULPA (U15 thiab siab dua) yog qhov yuav tsum tau, thiab muaj peev xwm ntau dua rau 0.05μm cov lus yuav xav tau.
2. Sab nraud zoo nkauj siab: tsis tshua muaj siab tshaj (feem ntau tshaj lossis sib npaug ntawm 150 PA) kom kov yeej cov kev lim dej ntxiv thiab ua kom muaj huab cua ruaj khov thoob plaws hauv lub neej.
3. Huab cua uniformity: tsis tshua muaj nruj (hauv ± 5%). Txhua tus cua tsis yog {{- Uniformity tuaj yeem tsim vortices, ua rau particle cia.
4. Lub cev muaj zog thiab kev co: Tsawg - Kev co} Volrations los ntawm kev cuam tshuam cov kev cuam tshuam thiab kev xav qhov tseeb ntawm Lithography Machine.
5. Cov khoom siv thiab cov qauv: yog feem ntau ua los ntawm cov hlau tsis muaj zog (sus304) lossis siab} - zoo li qub txheej rau saum npoo. Txhua cov qauv yuav tsum ua kom ruaj khov, tsis muaj kev pheej hmoo ntawm cov particle plhaw.
6. Sealing: xoom so kom huv si, nrog txhua chav tsev tab tom ua nruj PAO / DOP scan los kuaj ntawm lub hoobkas.
7. Tswj thiab kev sib koom ua ke: Yuav tsum pab txhawb siab- precision pab pawg tswj (piv txwv li ntawm Rs-485) thiab seamless kev soj ntsuam system (FMCs) rau cov ntaub ntawv nrhiav thiab chaw taws teeb.
8. Kev cai teeb tsa: qhov chaw thiab cuam tshuam rau cov lim dej lim yuav tsum tau tshwj tseg.
IV. Raug Daim Ntawv Teev Lus
1. Lithography Bay:
{{0-} Xav tau theem kev nyiam huv nyob rau hauv lub Hoobkas (ISO} {{{{{{{.
{{0 {0} Txoj Cai: Muab cov purest thiab feem ntau tsis txaus ntseeg los tiv thaiv cov lithogresy tshuab thiab ntxim nyiam psoresist wafers los ntawm kev sib kis.
2. Etch & CogBant Bay:
{{0-} Xav tau: muaj kev huv thiab kev tswj hwm AMC.
{{0- lub luag hauj lwm ntawm ffu: thaum muab cov lim ulpa, nws kuj tseem tuaj yeem tsim cov kua qaub lossis dopant roj molecules tsim rau lub sijhawm.
3. Diffusion Bay:
{{0-} Xav tau: Ntau qhov siab- cov khoom kub thiab siv cov khoom siv kub.
{{0- lub luag hauj lwm ntawm FFU: Qhov muaj zog unidirectional Flow tuaj yeem tiv thaiv cov cua sov los ntawm kev nqa cov khoom noj thiab paug rau lwm qhov chaw.
Ntsiab lus:
Hauv kev ua lag luam semiconduct, ffus muaj deb tshaj qhov tau ua kom yooj yim "qhov cua ntaus ntawv." Lawv yog:
1. Tus neeg saib xyuas ntawm cov nyiaj tawm: Kev txiav txim ncaj qha rau cov txiaj ntsig ntawm Chip Tsim.
2. Siv thev naus laus zis rau cov txheej txheem siab heev: tsis muaj ultra-}} Cov txheej txheem huv si yuav tsis muaj peev xwm ua tau.
3. Lub leeg qhov kawg ntawm lub Hoobkas ntse: Kaum tawm ntawm cov neeg FFENSING, raws li faib cov khoom siv ntawm cov khoom siv ntse ntawm ib puag ncig ntawm Semiconductor Fab.
Cov tub ntxhais ntawm lawv cov ntawv thov cov lus dag hauv kev sib ntsib siab tshaj plaws ntawm tib neeg txiav nrog kev ua tau zoo, ua rau muaj kev ntseeg siab, thiab kev txawj ntse. Yog li ntawd, ffus nyob rau hauv kev lag luam semiconductor sawv cev rau qhov siab tshaj plaws thiab nruj tshaj lij kev tshwj xeeb hauv daim teb no.
